摘要：為了降低傳輸中的損耗,基于聚合物光波導實(shí)現光互連以滿(mǎn)足系統應用.基于聚合物光波導傳輸理論,設計了含45°角的傳輸結構,梳理了制備流程.針對聚合物光波導45°反射面制備難題,通過(guò)前處理、包層光刻、芯層勻膠和芯層曝光等技術(shù),獲得線(xiàn)寬精度高和傳輸損耗低的光波導結構.通過(guò)對該結果測試表明,傳輸特性滿(mǎn)足使用要求,可作為通信的重要手段.
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