確定BAW梯形濾波器階數的方法
摘要:為確定體聲波(BAW)梯形濾波器的階數,使用仿真法研究了濾波器的帶外抑制與并、串聯(lián)薄膜體聲波諧振器(FBAR)的電容比Cps和濾波器階數N的關(guān)系?;贔BAR的Mason解析電路模型構建了1-6階BAW梯形濾波器,Cps取值為1-6,對1-6階BAW梯形濾波器進(jìn)行仿真,取濾波器的左帶外抑制進(jìn)行統計并繪制曲線(xiàn)圖。此外,BAW梯形濾波器的階數可包括半階數,用同樣仿真法改變階數(N=1.5,…,5.5)對濾波器進(jìn)行仿真。仿真結果表明,當Cps一定時(shí),帶外抑制基本隨濾波器的階數等量增加。當濾波器的階數一定時(shí),帶外抑制隨Cps的增加而增加。在優(yōu)化設計時(shí),并、串聯(lián)FBAR諧振器區面積比(即Cps)一般設置為1-4,在此范圍內濾波器階數每增加一階,帶外抑制平均增加約10dB;濾波器的階數增加半階時(shí),帶外抑制約增加整階數的一半,即5dB,而此時(shí)通帶內的插損基本保持不變。故設計濾波器時(shí),根據設計指標中的帶外抑制可初步確定濾波器的階數。
注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系壓電與聲光雜志社