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			加急見(jiàn)刊
		
        
		

		
		
        
			
        
				
				
				
        
					
					
        
						
						
        一體雙驅對稱(chēng)式壓電懸臂梁微驅動(dòng)器
        
						
        尋之宇; 張衛平; 周歲; 歐彬  微米/納米加工技術(shù)部級重點(diǎn)實(shí)驗室、薄膜與微細技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗室、上海市北斗導航與位置服務(wù)重點(diǎn)實(shí)驗室、上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微納電子學(xué)系; 上海200240
        

					
        
					
        摘要：設計了一種一體化加工的雙驅對稱(chēng)式壓電懸臂梁微驅動(dòng)器。對壓電驅動(dòng)器工作原理、壓電驅動(dòng)器在準靜態(tài)工況與共振工況下的輸出特性進(jìn)行了理論分析,確定壓電驅動(dòng)器幾何尺寸。介紹了壓電驅動(dòng)器的多層復合結構與一體雙驅的實(shí)現方式。制作了壓電驅動(dòng)器樣機,并通過(guò)有限元仿真分析與測試實(shí)驗相結合的方式得到壓電驅動(dòng)器的阻抗特性與輸出特性曲線(xiàn)。將壓電驅動(dòng)器運用在輪式機器人,驗證了設計的可行性。
        
					
        注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系壓電與聲光雜志社
        
				
        
				

			
        
		
        

		
		

	
        

	
	
	
	
	
	
	
	


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