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			加急見(jiàn)刊
		
        
		

		
		
        
			
        
				
				
				
        
					
					
        
						
						
        采用三穩頻激光源實(shí)現絕對長(cháng)度測量
        
						
        陳強華; 劉斌超; 羅會(huì )甫; 羅軍; 呂唯唯; 王鋒  北京理工大學(xué)機械與車(chē)輛學(xué)院; 北京100081; 北方工業(yè)大學(xué)機械與材料工程學(xué)院; 北京100144; 北京理工大學(xué)物理學(xué)院; 北京100081
        

					
        
					
        摘要：合成波長(cháng)法利用多個(gè)波長(cháng)構建數值足夠大的合成波長(cháng),從而可實(shí)現絕對測量.然而實(shí)際應用中要找到波長(cháng)值合適且波長(cháng)穩定性足夠高的多個(gè)波長(cháng)難度很大.本文研究了一種長(cháng)度絕對測量光路,采用三個(gè)高精度穩頻波長(cháng)構建合成波長(cháng)鏈,建立合成波長(cháng)鏈測量公式及其級間過(guò)渡條件,搭建相移干涉光路測量各單一波長(cháng)的干涉級次小數值,最后實(shí)現絕對長(cháng)度的高精度測量.對零膨脹微晶玻璃樣品進(jìn)行了長(cháng)度測量實(shí)驗,實(shí)驗結果及誤差分析表明長(cháng)度測量不確定度約為3nm.所提方法對樣品的初測精度要求較低,而測量范圍僅受干涉光路的長(cháng)度限制.
        
					
        注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系北京理工大學(xué)學(xué)報雜志社
        
				
        
				

			
        
		
        

		
		

	
        

	
	
	
	
	
	
	
	


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