摘要：利用自行設計的集成微區成像激光誘導擊穿光譜系統,分析了孔徑光闌設定、目標區域大小以及樣品表面反射率對表面圖像位置敏感特性的影響.結果表明,表面圖像銳度在大孔徑設定下對位置更為敏感,適用于自動(dòng)對焦過(guò)程;反射率對表面圖像銳度的位置敏感特性影響較小,且部分表面圖像的銳度也可用于輔助激光誘導擊穿光譜對焦;不同樣品不同目標區域大小,圖像銳度最大值對應表面位置具有很好r的重復性.在此基礎上,建立了基于表面圖像銳度的自動(dòng)對焦方法.
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