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			加急見(jiàn)刊
		
        
		

		
		
        
			
        
				
				
				
        
					
					
        
						
						
        準分子激光微加工應用研究進(jìn)展
        
						
        何立文; 方曉東  合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應用物理學(xué)院; 安徽合肥230009; 中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機械研究所安徽省光子器件與材料重點(diǎn)實(shí)驗室; 安徽合肥230031
        

					
        
					
        摘要：準分子激光加工技術(shù)基于光化學(xué)機制.準分子激光具有波長(cháng)短、重復頻率高、單脈沖能量大、輸出光斑大且能量分布均勻等特點(diǎn),在精準和高效微加工領(lǐng)域有著(zhù)獨特的優(yōu)勢.準分子激光微加工可以減小熱影響區（Heat affected zone, HAZ）,有效避免產(chǎn)生裂紋等缺陷,在材料精細加工領(lǐng)域有很好的應用前景。介紹了準分子激光微加工的研究進(jìn)展,及準分子激光微加工應用于微電子集成電路封裝、微機電系統（Micro-electro-mechanical system, MEMS）材料加工和生物醫療等領(lǐng)域的研究結果,總結了準分子激光微加工技術(shù)的發(fā)展趨勢。
        
					
        注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系量子電子學(xué)報雜志社
        
				
        
				

			
        
		
        

		
		

	
        

	
	
	
	
	
	
	
	


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