<sub id="n0hly"></sub>
<sub id="n0hly"></sub>

      <small id="n0hly"><progress id="n0hly"></progress></small>
    1. <address id="n0hly"></address>
      1. 加急見(jiàn)刊

        環(huán)境因素對微納加工中精確定位影響的研究

        張波; 薛虹 中國科學(xué)院電工研究所; 北京; 100080; 中國科學(xué)院電工研究所; 北京; 100080

        摘要:以雙頻激光干涉儀在電子束曝光機精確定位中的運用為例(其具有典型的代表性),研究環(huán)境因素對微納加工中精確定位的影響,并針對溫度是其中影響最大的因素,提出了一種實(shí)時(shí)溫度補償方法,修正了測量結果由于熱膨脹不能真實(shí)反映工件臺位置帶來(lái)的定位誤差.

        注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系微細加工技術(shù)雜志社

        亚欧成人中文字幕一区-日韩影音先锋AV乱伦小说-成人精品久久一区二区-成人美女视频在线观看
        <sub id="n0hly"></sub>
        <sub id="n0hly"></sub>

          <small id="n0hly"><progress id="n0hly"></progress></small>
        1. <address id="n0hly"></address>