環(huán)境因素對微納加工中精確定位影響的研究
摘要：以雙頻激光干涉儀在電子束曝光機精確定位中的運用為例(其具有典型的代表性),研究環(huán)境因素對微納加工中精確定位的影響,并針對溫度是其中影響最大的因素,提出了一種實(shí)時(shí)溫度補償方法,修正了測量結果由于熱膨脹不能真實(shí)反映工件臺位置帶來(lái)的定位誤差.
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