硅基納微米結構光電性能及大面積光伏器件應用研究
摘要:基于金屬離子輔助的化學(xué)刻蝕方法(MACE),分別在大面積單晶和多晶硅片上制備了多尺度硅納微米結構,用原子層沉積(ALD)的氧化鋁對單晶硅納微米結構(面積125×125mm2)實(shí)施鈍化,實(shí)現了最低的光學(xué)減反(1.38%)和最低的表面復合速率(44.72cm/s),打破了硅納米結構太陽(yáng)電池中需要對光學(xué)增益和電學(xué)損失小心平衡這一難題。研究多晶硅納微米結構,制備出了最高效率為17.63%的多晶硅納微米結構太陽(yáng)電池,這個(gè)效率超越了常規多晶太陽(yáng)電池17.45%的效率。無(wú)論單晶還是多晶MACE納微米結構太陽(yáng)電池的研究,均為大面積高效納米結構太陽(yáng)電池研究打開(kāi)了廣闊空間。
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