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      1. 加急見(jiàn)刊

        微機械陀螺沖擊特性及可靠性研究

        何春華; 趙前程; 楊振川; 張大成; 閆桂珍 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米加工技術(shù)部級重點(diǎn)實(shí)驗室; 北京100871; 美的集團; 廣東佛山528311

        摘要:為了深入掌握微機械陀螺的沖擊響應特性,本文進(jìn)行了詳細的理論推導和MATLAB仿真分析,并進(jìn)行了測試驗證。沖擊試驗結果表明,理論分析和試驗結果基本一致,考慮最壞情況可知,當脈寬對應的沖擊頻率與陀螺固有頻率越接近,并且陀螺品質(zhì)因子和沖擊加速度幅值越大時(shí),則沖擊帶來(lái)的影響就越大,梁越容易發(fā)生斷裂失效。因此要使MEMS陀螺具有較強的抗沖擊能力,必須綜合優(yōu)化設計陀螺的真空度和固有頻率。

        注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系傳感技術(shù)學(xué)報雜志社

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