一種導軌直線(xiàn)度與平行度測量系統的研究與應用
摘要:導軌直線(xiàn)度與平行度的測量通常采用接觸式掃描法和光學(xué)測量法,這些方法通常需要高精度的直線(xiàn)度物理基準和激光干涉儀等昂貴儀器使得測量成本大大提高。為克服上述缺點(diǎn),提出了一套基于四象限光電探測器(簡(jiǎn)稱(chēng)四象限)結合雙軸水平儀實(shí)現導軌直線(xiàn)度與平行度測量的測量系統。通過(guò)標定實(shí)驗,比對實(shí)驗和穩定性實(shí)驗證明了該測量系統的準確性和穩定性。利用該測量系統對導軌進(jìn)行測量調整后,基準軌水平與豎直兩個(gè)方向的直線(xiàn)度誤差分別從150μm和120μm降低至42μm和36μm,測量軌與基準軌在水平與豎直兩個(gè)方向的平行度誤差也分別從327μm和524μm降低至45μm和51μm。
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