融合試驗數據的模擬集成電路可靠性預計修正方法研究
摘要:以集成電路的特征尺寸和工藝水平為分類(lèi)標準,將標準手冊中的可靠性預計模型與實(shí)際的加速壽命試驗數據進(jìn)行結合,得到集成電路可靠性預計修正方法。通過(guò)此可靠性預計修正方法,能計算出集成電路的工藝修正系數數值,進(jìn)而應用于可靠性預計模型之中,對集成電路可靠性預計方法進(jìn)行修正。修正后的可靠性預計方法能夠更加準確的對其可靠性進(jìn)行預計,解決了現有標準手冊模型不能完全準確體現出制造工藝發(fā)展的實(shí)際問(wèn)題。
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