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			加急見(jiàn)刊
		
        
		

		
		
        
			
        
				
				
				
        
					
					
        
						
						
        化學(xué)氣相沉積金剛石微球的生長(cháng)機制研究
        
						
        徐帥; 李曉普; 丁玉龍; 吳嘯; 范波; 閆寧  鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司; 鄭州450001; 超硬材料磨具國家重點(diǎn)實(shí)驗室; 鄭州450001; 燕山大學(xué)亞穩材料制備科學(xué)與技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室; 河北秦皇島066004
        

					
        
					
        摘要：采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法,在過(guò)飽和碳離子濃度條件下,在單晶硅襯底上制備了球形結構的多晶金剛石微球,通過(guò)控制沉積氣壓與溫度的變化,研究了金剛石由石墨生長(cháng)區向納米晶的球形結構、再到具有良好結晶性的金剛石生長(cháng)區的過(guò)渡過(guò)程。結果表明：沉積氣壓與溫度的升高導致微球的粒徑增大,微球由sp3、sp2鍵共存相轉變?yōu)檩^純的金剛石相;在一定的碳離子過(guò)飽和度和氣壓、溫度范圍內,微球的形成主要受二次形核過(guò)程的控制。氣壓和溫度升高后,微球呈〈110〉取向生長(cháng),微球的形成主要受（111）面高密度孿晶和層錯缺陷的控制,揭示了化學(xué)氣相沉積金剛石不同生長(cháng)區內二次形核機制與孿晶層錯機制誘導的金剛石微球的生長(cháng)過(guò)程。
        
					
        注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系金剛石與磨料磨具工程雜志社
        
				
        
				

			
        
		
        

		
		

	
        

	
	
	
	
	
	
	
	


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