摘要：以光學(xué)鏡面模具平面工件為實(shí)驗工件,從加工設備、原材料配制以及工藝精度成形原理等方面系統提出一種超鏡面平面研磨拋光工藝方法,制定相應的工藝實(shí)施路線(xiàn)并進(jìn)行評價(jià)。成功解決了研磨拋光過(guò)程的潤滑和發(fā)熱等問(wèn)題,從而降低工件表面出現各種微細缺陷的概率,得到完美的鏡面表面。此方法可以廣泛應用與集成電路制造、醫療器械、汽車(chē)配件、數碼配件、精密模具、航空航天等領(lǐng)域。
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