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			加急見(jiàn)刊
		
        
		

		
		
        
			
        
				
				
				
        
					
					
        
						
						
        TCAD課程設計在微電子課程體系中的應用與研究
        
						
        宣曉峰; 張彥  合肥工業(yè)大學(xué)電物學(xué)院
        

					
        
					
        摘要：微電子相關(guān)專(zhuān)業(yè)人才培養中,半導體器件物理和微電子工藝是兩門(mén)重要的專(zhuān)業(yè)核心課程。本文在探討TCAD課程設計的開(kāi)設對改善和提高這兩門(mén)課程實(shí)驗和實(shí)踐教學(xué)的意義基礎上,依據我們多年來(lái)TCAD課程設計的開(kāi)設經(jīng)驗,對TCAD課程設計中的題目設置、結果評價(jià)方式等進(jìn)行了討論。通過(guò)近兩年TCAD課程設計與半導體器件物理和微電子工藝課程的平行開(kāi)設,它的提高和改善作用通過(guò)考試成績(jì)的得到了很好的驗證。
        
					
        注: 保護知識產(chǎn)權,如需閱讀全文請聯(lián)系中國電子教育雜志社
        
				
        
				

			
        
		
        

		
		

	
        

	
	
	
	
	
	
	
	


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